同济大学校长杨金龙在2026届毕业典礼上的讲话透露，早在2025年5月，自研的首台氟化氩（ArF）浸没式光刻机交付中芯国际，搭配多重曝光工艺，可稳定支撑7nm及以上芯片制程生产。
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